掩模刻蚀工艺处理设备-招标公告

1. 招标条件

本招标项目掩模刻蚀工艺处理设备 该项目已具备招标条件，现对掩模刻蚀工艺处理设备采购进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20190410A001

2.2 招标项目名称：掩模刻蚀工艺处理设备。

2.3 数量：1台。

2.4主要用途：湿法刻蚀工艺处理机主要用于0.25微米技术节点及以下掩模显影后的刻蚀。其主要作用在于通过化学反应将没有光刻胶保护的金属层刻蚀掉，形成我们想得到的图形层，即把光刻形成的图形转移到玻璃基板上，刻蚀工艺是整个掩模制造过程中不可或缺的一环，也是掩模制造过程中控制CD均匀性、CD偏差、相移掩模相移角度等关键参数的重要工序。

2.5 交货地点：中国江苏省无锡菱湖大道202号。

2.6 交货期：合同生效后4个月内到货。

3. 投标人资格要求

3.1 本次招标要求投标人为独立法人单位，并具有与本招标项目相应的供货能力。

3.2本次招标要求投标人提供2016年1月1日至开标前在中国大陆地区销售的同型号或相似型号的业绩5个（含）以上。

3.3 本次招标不接受联合体投标。

3.4 一个制造商对同一品牌同一型号的设备，仅能委托一个代理商参加投标。

3.5 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1

5. 投标文件的递交

5.1 投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2019年6月26日  9时30分，地点为 大楼一层会议室。

5.2 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

6. 

未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载报名表及相关文件！

项目 联系人：李杨  
咨询电话：010-51957458 
传真：010-51957412 
手机：13683233285 
QQ:1211306049 
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com

来源：中国电力招标采购网 编辑：365trade.co