| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所高深宽比纳米薄膜沉积系统 | ||
| 品目 |
货物/通用设备/机械设备/其他机械设备 |
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| 采购单位 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | ||
| 行政区域 | 上海市 | 公告时间 | 2020年09月25日 22:10 |
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一、项目基本情况 预算金额：190.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：190.0000000 万元（人民币） 采购需求： 二维IC工艺和三维MEMS加工而成的异质集成的传感器表面会有各种台阶、高深宽比的孔洞、槽等结构，需要台阶覆盖能力强的薄膜沉积技术。此外，由于材料晶格结构、热膨胀系数的差异，异质集成的衬底不可避免的会出现翘曲，需要保形薄膜沉积技术；圆片级的异质集成封装涉及各种衬底，需要一种新的低温键合技术。高深宽比纳米薄膜沉积系统的主要功能为：（1）具有三维保形薄膜沉积能力，具有良好的台阶覆盖能力，能在高深宽比的孔洞中进行薄膜沉积；（2）以沉积的纳米薄膜为媒介能实现封装盖板和各种异质集成衬底之间的低温键合；（3）对200mm晶圆，薄膜厚度不均匀性小于±1%。具体详见招标文件第八章。 合同履行期限：合同签订后6个月内。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小企业发展、支持监狱、戒毒企业发展、促进残疾人就业、优先采购贫困地区农副产品等政府采购政策。 3.本项目的特定资格要求：1）近三年内（本项目招标截止期前）被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府招标网”网站列入政府招标严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；2）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一标包投标或者未划分标包的同一项目。 三、 （北京时间，法定节假日除外） 六、其他补充事宜 现场购买：有意向的投标人可携带报名表（详见招标公告附件）、营业执照复印件（加盖公章）、法人代表授权书原件、被授权代表身份证（复印件加盖公章））至上海市共和新路1301号C座108室进行报名 网上购买：有意向的投标人将报名表（详见招标公告附件）、营业执照扫描件、法定代表人（单位负责人）授权委托书原件、委托代理人身份证明（复印件加盖公章）的扫描件和购买标书登记表（详见附件） 招标文件售价：每包件售价人民币 500 元（招标文件售后不退）。 注：我公司只接受公司转账，不接受个人转账。 开户名：上海中招招标 银行帐号：0208014210004789 摘要：STC20A280标书费或投标保证金 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 2.采购代理机构信息 名 称：上海中招招标 地 3.项目 电 没有在 中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后根据招标公告的相应说明获取招标文件！ 联系人：李杨 打赏 更多>同类资讯
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