北京元芯碳基集成电路研究院电子束光刻机国际招标公告(2)

中工国际招标 对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2020-08-03在 公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:电子束光刻机，项目采购预算金额：1500万RMB
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:1675-20420071223d
招标项目名称:北京元芯碳基集成电路研究院电子束光刻机
项目实施地点:中国 产品名称 数量 简要技术规格备注1 电子束光刻机 1套 #2.5.1 加速电压为100kV，写场尺寸为100μm 下，最小线宽不大于 8nm；写场尺寸为1mm 下，最小线宽不大于15nm。 *2.5.2 100kv 加速电压下，主场畸变： - 不大于±10nm @ 500um 写场 - 不大于±15nm @ 1mm 写场 2.5.3 束电流漂移不大于±0.5%/h（开环测量） *2.5.4 曝光Dose调节范围：32bit（2^32级） #2.5.5 100kV 加速电压下，拼接精度： - 不大于±15nm @ 250um 写场 - 不大于±30nm @ 1mm 写场 *2.5.6 100kV 加速电压下，直写模式的套刻精度： - 不大于 ±5nm @200um 写场 - 不大于 ±10nm @1mm 写场 *2.5.7自动寻找50 个对准标记时间不大于90s交货期：合同生效并收到预付款后12个月，最迟开始调试验收的日期不早于2022年12月30日。
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:A、投标人须具有独立法人资格，生产或经营范围应包含拟投设备；
B、投标同型号产品近三年内的使用业绩，并提供证明文件。
C、同一生产厂家只允许授权一家代理商参加投标。
是否接书”原件及被授权人身份证复印件加盖公章；
C、代理商证明，产品制造商针对本项目的产品授权书同时提供生产厂家投标产品的证明材料复印件加盖公章。
招标代理机构对报名资料的审验并不作为投标单位资格条件的最终认定，投标单位应对资料的真实性、合规性负责；开标后，仍将由评审委员会对投标单位的资格证明材料进行资格审核，不符合投标资格条件的投标单位的投标将被拒绝。

未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！

项目 联系人：李杨  
咨询电话：010-51957458 
传真：010-51957412 
手机：13683233285 
QQ:1211306049 
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com

备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。

编辑：chinabidding.co